由于产品不同，技术要求及热处理规范也各不相同，所用的真空热处理炉的结构也多种多样。可分为内热式和外热式两大类。
一、外热式真空热处理炉
        外热式真空热处理炉是指有真空罐的炉子，加热元件，耐火材料等在罐外，被处理工件放在罐内，同时将罐抽成真空。大多采用电阻加热。当工件放入炉罐内密封后，开始抽真空到规定的真空度，再加热到规定温度。抽真空可连续、亦可间歇或停止。工件冷却有炉内冷却和炉外冷却两种，炉内冷却速度慢，炉外玲却速度快。炉内冷却通人特殊气体冷却介质：氢、氯、氩等。其中氢的冷却速度晟大，但价格高、容易发生爆炸。所以常用纯度为99.999%以上纯氮来冷却效果也较好。
        外热式真空炉结构简单，制造容易，容易密封，抽气量小，容易达到所要求的真空度，不受耐火、绝缘材料及电阻放气的影响，不存在真空放电问题，工件加热质量高，生产安全可靠。
        但由于热源在炉罐外，热惰性大、热效率低、加热速度慢：生产周期长。由于炉罐材料高温强度所限，炉子尺寸小，使用温度低于1100℃，合金钢或耐热钢罐价格昂贵，不易加工，仅适用于合金的退火、真空除气、真空渗金属等。
二、内热式真空热处理炉
       内热式真空热处理炉是将整个加热装置（加热元件、耐火材料）及欲处理的工件均放在真空容器内，而不用炉罐的炉子。这类炉子的优点是：①可以制造大型高温炉，而不受炉罐的限制；②加热和冷却速度快，生产效率高。其缺点是：①炉内结构复杂，电气绝缘性要求高；②与外熟式真空炉相比，炉内容积大，各种构件表面均吸附大量气体，需配大功率抽气系统；③考虑真空放电和电气绝缘性，要低电压大电流供电，需配套系统。
        苏州市科达炉业有限公司（原苏州市东升热处理设备厂），创建于1986年。具有二十多年的工业炉制造经验的专业厂家。专业生产台车炉、 罩式炉 、热处理加工、 光亮退火炉 、球化退火炉等各种炉产品。
        现代真空电阻热处理炉都是内热式的，没有炉罐，整个炉壳就是一个真空容器，外壳是密封的，某些部位用水冷却。按其外形及结构分为立式、卧式、单室、双室和三室等。工件冷却方式分为自冷、负压气冷、负压油冷等炉型。按热处理工艺可分为淬火炉和回火炉。有单功能的，也由多功能的。